世界*高水平的
高精度・高速・高分辨率
高稳定倍光路型激光干涉传感器
●应用東京精密的要素技术之一的光纤激光干涉测长系统,开发出分辨
率0.31nm的高稳定倍光路型激光干涉传感器并搭载在产品上。
●动态量程与分辨率之比高达42,000,000 :1,一次跟踪即可评价大范
围的轮廓形状及其隐藏在形状下面的微细表面形状,是一款划时代的
产品。
只需一次测量即可进行粗糙度和轮廓的分析
●可在保持高精度的同时提高测量效率。
大量程
●横向200mm,纵向13mm,测量范围大。
●可±45°自动控制驱动部倾斜
(SURFCOM CREST-T型号)
在驱动部搭载线性马达 已取得专利
●凭借线性马达驱动,实现了高精度·高速移动。
●电子低振动化稳定,可以实现高倍率测定。
只需一次测量即可进行粗糙度和轮廓的分析
●可在保持高精度的同时提高测量效率。
大量程
●横向200mm,纵向13mm,测量范围大。
●可±45°自动控制驱动部倾斜
(SURFCOM CREST-T型号) |